
이는 오작동을 일으킬 가능성이 있는 베어링의 결함이나, 이외의 일반적 원인을 초기에 감지함에 있어서 필수적인 고해상도 진동의 측정 기능을 제공한다. 이전에는 압전 가속도계가 산업 응용 분야에서 널리 활용되었으나, 최근 MEMS 센서가 효과적인 솔루션으로써 새롭게 등장하게 되었다.
사실 ADXL1002 MEMS가 등장하기 이전에는, 어플리케이션 기술에 비하여 고주파 MEMS 가속도계 잡음의 성능이 충분하지 않아 현장에서의 적용이 어려웠고, 이에 따라 MEMS 가속도계에 대한 안정성과 품질, 반복성이 충분하게 활용되지 못했다고 볼 수 있다.
하지만 ADXL1002의 고주파대 잡음과 관련된 성능은 현재 사용되는 PZT기술과 동일한 수준이다.
또한 새로 개발된 상태 모니터링 제품에 사용하기에 아주 적합하다.
ADXL1002 는 ADI 고성능 정밀 센싱 기술을 대표한 최신 제품이며, 스마트 공장에서의 산업용 사물인터넷 어플리케이션에 필수적인 정확한 데이터와 뛰어난 품질을 제공하고, 네트워크 엣지에서 지능적 센싱을 구현하게 된다.
- 회사명 : 아나로그 디바이스 - 산업분야 : 산업용 상태 모니터링 2.
- 제품명 : 고주파 MEMS 가속도계(ADXL1002 MEMS) - 제품용도 : ADXL2002 MEMS는 산업용 상태 모니터링 어플리케이션 전용으로써 설계된 고주파, 저잡음 MEMS 가속도계다. 이는 오작동을 일으킬 가능성이 있는 베어링의 결함이나, 이외의 일반적 원인을 초기에 감지함에 있어서 필수적인 고해상도 진동의 측정 기능을 제공한다. 사실 ADXL1002 MEMS가 등장하기 이전에는, 어플리케이션 기술에 비하여 고주파 MEMS 가속도계 잡음의 성능이 충분하지 않아 현장에서의 적용이 어려웠고, 이에 따라 MEMS 가속도계에 대한 안정성과 품질, 반복성이 충분하게 활용되지 못했다고 볼 수 있다.
그림 1 ADXL1002 기본 구조 그림 2 ADXL1002 ADXL1002의 제작공정은 그림에 나타난 기본구조를 바탕으로 이루어진다. 이전에는 압전 가속도계가 산업 응용 분야에서 널리 활용되었으나, 최근 MEMS 센서가 효과적인 솔루션으로써 새롭게 등장하게 되었다. 이에 따라, ADXL은 실리콘 기판 위에 제작하게 되는데, 이와 같은 폴리실리콘 구조는 두 가지의 고정 플레이트 사이에 가동형 플레이트가 존재하는 셀을 기반에 둔다.
가속으로 인하여 가동식 플레이트가 고정 플레이트에 비하여 굴절되면 가속에 비례한 센서의 출력을 생성해 정전 용량이 변경되는 방식이다. ADXL1002는 작은 굴절에도 고성능 범위를 지원한다.
ADXL1002의 경우, 진동 기반 CBM 응용분야에서의 엄격한 요구 사항을 충족함과 동시에 기본적인 진동 감지 시스템 설계를 단순화하였다. ADXL1002는 가속 범위와 대역폭, 잡음, 분해능 등에 관한 산업 요구 사항을 충족하도록, 광범위한 장치를 개발자에게 제공한다는 특징이 있다.
ADXL1002의 핵심 기술은 ‘MEMS 센서’라고 볼 수 있는데, 이는 기존의 반도체 공정 기술로 제조되기 때문에 여타 회로와 쉽게 통합 가능하다는 특징이 있다. 또한 ADXL1002의 통합된 출력 증폭기의 경우 최대 100pF 부하 정전 용량 상에서 저항 부하를 2mA의 소스전류까지 확대할 수 있다는 특징을 보인다.
그러므로 개발자는 ADXL1002를 ADC에 직접 연결 가능한 것이다. 기본적으로 이러한 직접 연결을 사용하기 위해서는 샘플링 속도가 220kHz이상이어야 한다는 특징이 있는데, 핵심사용기술인 MEMS 센서의 경우 높은 장치 주파수 대역폭의 3dB 2 배로 샘플링할 필요가 있기 때문이다.
| 핵심어 | 문서 속 설명 |
|---|---|
| 센서 | 이전에는 압전 가속도계가 산업 응용 분야에서 널리 활용되었으나, 최근 MEMS 센서가 효과적인 솔루션으로써 새롭게 등장하게 되었다. |
| 진동 | 이는 오작동을 일으킬 가능성이 있는 베어링의 결함이나, 이외의 일반적 원인을 초기에 감지함에 있어서 필수적인 고해상도 진동의 측정 기능을 제공한다. |
| 플레이트 | 가속으로 인하여 가동식 플레이트가 고정 플레이트에 비하여 굴절되면 가속에 비례한 센서의 출력을 생성해 정전 용량이 변경되는 방식이다. |
| 산업용 | - 회사명 : 아나로그 디바이스 - 산업분야 : 산업용 상태 모니터링 2. |
기본적으로 이러한 직접 연결을 사용하기 위해서는 샘플링 속도가 220kHz이상이어야 한다는 특징이 있는데, 핵심사용기술인 MEMS 센서의 경우 높은 장치 주파수 대역폭의 3dB 2 배로 샘플링할 필요가 있기 때문이다.
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